真空腔體是保持內部為真空狀態的容器，其制作要考慮容積、材質和形狀。不銹鋼是目前真空系統的主要結構材料。其中300 系列不銹鋼(表1) 是含Cr10%～20%的低碳鋼，具有優良的抗腐蝕性、放氣率低、無磁性、焊接性好、導電率和導熱率低、能夠在-270～900℃工作等優點。
為了節省真空腔體的制作成本，采用鑄造鋁合金來制作腔體也逐漸普及。為了減小腔體內壁的表面積，通常用噴砂或電解拋光的方式來獲得平坦的表面。焊接是
真空腔體制作中重要的環節之一。為避免大氣中熔化的金屬和氧氣發生化學反應從而影響焊接質量，通常采用氬弧焊來完成焊接。氬弧焊是指在焊接過程中向鎢電極周圍噴射保護氣體氬氣，以防止熔化后的高溫金屬發生氧化反應。
氬弧焊接原則上需要采用內焊，即焊接面是在真空一側，以免存在死角而發生虛漏。真空腔體不允許內外雙重焊接和雙重密封(真空腔體的內壁表面吸附大量的氣體分子或其他有機物，成為影響真空度的放氣源。為實現超高真空，要對腔體進行150～250℃的高溫烘烤，使材料表面和內部的氣體盡快放出。烘烤方式有在腔體外壁纏繞加熱帶、在腔體外壁固定鎧裝加熱絲或直接將腔體置于烘烤帳篷中。
